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张海兵; 袁文勋;
中芯国际集成电路制造(天津)有限公司,天津市300385;
激光微加工; 集成电路; 制造业;
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机译:在集成电路制造中沉积包含二氧化硅的层的方法,在集成电路制造中形成沟槽隔离的方法,在集成电路制造中沉积包括二氧化硅的层的方法以及在其上形成位线的方法存储单元的电容器阵列
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