新型并联复合式超声波能量传输机构研究

摘要

介绍了一种引线键合领域新型并联复合式超声波能量传输机构。与常规其他形式的超声波能量传输机构相比,用减弱了横向偏转刚度的夹持梁代替常规夹持环结构进行机构有效夹持,可显著降低并联结构的耦合特性。对一体式变截面三段变幅杆的杆长进行了优化设计,从理论上推导了复合振动平均能量密度公式。通过理论分析、有限元仿真及实验证明,此结构可有效提高振幅输出,增大超声波能量密度;通过调节双向振动参数在更大面积范围内完成原子键键合,从而减少键合时间,提高键合效率和强度。