(Pb,La)TiO_3铁电薄膜的制备及热释电性能研究

摘要

讨论了ＰＬＴ１５铁电薄膜的溶胶－凝胶制备技术，及ＰＬＴ薄膜的结构和电性能研究。结果表明，在Ｓｉ基片上成功地生长出钙钛矿型结构多晶铁电薄膜，在（１１１）Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ上外延生长出（１１１）ＰＬＴ１５铁电薄膜。溶胶－凝胶制备的ＰＬＴ１５铁电薄膜具有优良的热释电性能，其热释电系数ｐ为５．２５×１０－８Ｃｃｍ－２Ｋ－１，电压响应率优值ＦＶ达到０．７８×１０－１０Ｃｃｍ／Ｊ，探测率优值Ｆｍ为１．１３×１０－８Ｃｃｍ／Ｊ。