RF MEMS开关的电磁性能仿真分析

摘要

射频微系统是一种传感器、激励器、微机械、微电子的集成,由亚毫米级的移动部件组成,并能够提供射频功能。该文对并联式射频微系统开关展开了建模和电磁分析,通过CoventorWare建模,利用ANSYS HFSS电磁仿真,分析了不同主要结构参数对典型并联式射频开关电磁性能的影响,总结了不同上电极薄膜宽度、绝缘层厚度等参数对电磁性能的影响趋势:开关的隔离度随上电极宽度的增加而增大,绝缘层厚度的增大能够减小开关的反射损耗,但同时会增加开关的开启电压。