桌面式微型工厂原型系统建模研究

摘要

借鉴虚拟制造的建模方法 ,开展了针对以准分子激光直写刻蚀加工为主要加工手段 ,以微集成机构为产品对象的桌面式微型工厂建模研究 ,规划了桌面式微型工厂的框架 ,确定了系统的结构组成 ,讨论了组成模块的功能。