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郑亮; 唐明;
北京嘉润通力科技有限公司;
等离子清洗; 刻蚀; 表面处理;
机译:电子回旋共振等离子体刻蚀机中SiN刻蚀速率与等离子体阻抗的相关性研究
机译:基于等离子刻蚀的有机单层胶体晶体的形态结构控制及其在有序金纳米结构阵列制备中的应用
机译:晶圆等离子处理温度反馈控制系统及其在有机膜刻蚀中的应用
机译:各种刻蚀和清洗等离子体处理后的多孔有机超低k材料的研究
机译:有机材料等离子体刻蚀的刻蚀轮廓控制与表面反应研究
机译:在−50°C以上的条件下使用微毛细管冷凝对多孔有机硅低k进行无损等离子体刻蚀
机译:基于等离子体刻蚀的有机单层胶体晶体的形貌和结构控制及其在有序金纳米结构阵列制备中的应用
机译:惰性气体添加剂种类对Cl(2)化合物半导体高密度等离子体刻蚀的影响:第二部分。 Inp,Insb,InGap和InGaas;应用表面科学
机译:等离子体处理工具,双源等离子体刻蚀机,双源等离子体刻蚀方法以及形成平面线圈双源等离子体刻蚀机的方法
机译:等离子产生工具,双源等离子体刻蚀机,双源等离子体刻蚀方法以及形成平面线圈双源等离子体刻蚀机的方法
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