氧化锌薄膜表面波换能器

摘要

压电薄膜涂层换能器是在非压电基片上产生和检测声表面波的最有效途径。氧化锌是一种很合适的压电薄膜涂层材料,它有很强的压电效应,并且容易使它成为定向晶体而溅射在各种基片上。本文概述优质氧化锌薄膜涂层换能器的特性,着重讨论它的溅射参数和微观结构特性。这种微观结构特性表明,氧化锌薄膜是优越的表面波换能器材料。溅射的必要条件是:高的基片温度（150-300℃）,缓慢的淀积速率（0.5-1.0微米/小时）,低的气氛气压（小于5微米汞柱）及超纯净的真空系统。优质表面波换能器薄膜有下述特性:洁净透光,致密,表面光滑,晶粒细,晶轴取向良好。这种氧化锌薄膜将在今后的声表面波器件工艺中发挥重大的作用。