ZnO溅射膜在低频换能器上的应用

摘要

＜正＞ 绪言以前利用溅射法、气相成长法或外延法制作的ZnO薄膜,是用来研究利用ZnO厚度模式的高频超声波换能器或者表面波用换能器,以便在甚高频（30-300兆赫）、特高频（0.3-3千赫）或更高的频率使用。本文把C轴与基片表面垂直取向的ZnO溅射膜作为发生和检出垂直于C轴方向的法线应变,即垂直于厚度方向的法线应变的压电换能