压电薄膜换能器的制作

摘要

＜正＞ 利用压电薄膜激励或检出超声波的技术早在1964年福斯特等人就已开始了研究,后来发表了很多论文。现在,超声波正被广泛应用。但主要是用PZT、LiNbO3、水晶等作为超声波换能器激励或检出超声波,而薄膜换能器的应用还不很广泛。但是在高频领