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离子束刻蚀反射栅色散延迟线栅条

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本文报导用离子束刻蚀反射栅色散延迟线栅条以及深度加权技术.

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来源
《压电与声光》 |1983年第4期|48-50|共3页
作者
王尚茂; 许佩珍;
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作者单位

四川压电与声光技术研究所;

四川压电与声光技术研究所;

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