ST-X石英基片上铬栅阵中单根栅条反射系数实验研究

摘要

精确的栅条反射系数对于声表面波器件的设计至关重要.本文利用网络分析仪的时域功能,采用短脉冲方法实验研究了ST-X石英基片上铬栅阵中单根栅条的反射系数.并推导出计算反射系数的公式.实验测量了不同铬膜厚度条件下单根指条的反射系数,再对实验结果作最小方差法拟合,得到反射系数随铬膜厚度变化的表达式,即反射系数中压电短路贡献和铬的力学负载贡献之和.最后将实验结果与采用有限元方法计算的理论结果比较,发现两者基本吻合.