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廖鹏飞; 周瑞平; 鲍嘉威; 程治斌;
武汉理工大学船舶动力工程技术交通行业重点实验室;
武汉430063;
武汉理工大学能源与动力工程学院;
表面桨; 双十字万向联轴节; 运动仿真; 回旋振动; 扭转振动;
机译:分析方案的检查包括在微波激发表面波等离子体半导体处理装置的数值分析码中计算等离子体电子密度分布的计算
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