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苏延芬; 梁东升; 胡顺欣; 邓建国;
中国电子科技集团公司第十三研究所;
石家庄050051;
深槽隔离; 各向异性刻蚀; 等平面; 自对准; 微波单片集成电路(MMIC);
机译:采用Si V槽倒装芯片技术的用于自对准封装的高性能半导体光放大器阵列
机译:一种用于深亚微米Si MOSFET制造的新型自对准T形栅极工艺
机译:使用倒装芯片Si V槽技术的自对准光纤阵列耦合的Si波导上的二氧化硅
机译:具有用于MMIC的平面自对准栅极的脉冲掺杂GaAs MESFET
机译:用于MMIC器件制造的亚微米自对准栅极砷化镓镓MESFET处理技术。
机译:用于太阳能电池应用的平面Si(100)平面Si(111)和带纹理的Si(100)衬底上具有良好刻面的带纹理的ZnO的生长和表征
机译:用于太阳能电池应用的平面si(100),平面si(111)和纹理si(100)衬底上的纹理化良好面ZnO的生长和表征
机译:嵌入聚酰亚胺层的有限平面共面波导之间的耦合,用于si上的3D-mmIC
机译:自对准T形工艺用于深亚微米Si MOSFET的制造
机译:深槽机,用于制造非平面毛坯的带槽轮胎
机译:矩形模压板,用于平面绝缘-在一侧具有沿两个垂直方向延伸的深窄槽
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