脉冲参数对等离子体浸没离子注入介质靶鞘层演化规律的影响

摘要

采用一维流体模型对平板形绝缘介质材质的待处理物体表层的等离子体浸没离子注入过程进行了数值模拟计算.具体讨论分析了所加脉冲参数对离子注入实现表面改性效果的影响.结果表明:在等离子体浸没离子注入平面介质靶表层的实际工艺中,为了减缓表面充电效应要尽量选择上升沿时间长、下降沿时间较短的高压脉冲.