新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟

摘要

提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构，包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分．文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理，给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑，并利用Matlab进行了解析计算，通过ANSYS进行了模拟仿真分析．分析结果表明：通过双光纤准直器和光电探测器监测微扭转镜面的扭转，该器件可以实现60nT的磁场探测，其探测灵敏度可以达到0．6dB／μT．