中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室,微系统技术国家级重点实验室,上海,200050;
中国科学院研究生院,北京,100039;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室,微系统技术国家级重点实验室,上海,200050;
中国科学院研究生院,北京,100039;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室,微系统技术国家级重点实验室,上海,200050;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室,微系统技术国家级重点实验室,上海,200050;
浙江大学,杭州,310027;