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MOCVD热力学分析软件的开发

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报导了最新开发的MOCVD热力学分析软件--MOCVDTA,它是一个采用目前比较先进的VCS算法对MOCVD的稳态系统进行单参数及双参数模拟分析的软件.介绍了其功能、特点、使用方法以及适用条件,并且以As-H系统及Ga-As-CH系统为例进行了模拟,得到了很好的模拟结果.

著录项

来源
《高技术通讯》 |2000年第1期|62-65|共4页
作者
张冶金; 曹小光; 刘彩霞; 汪爱军; 陈维友; 刘式墉;
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作者单位

吉林大学电子工程系,长春,130023;

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吉林大学电子工程系,长春,130023;

吉林大学电子工程系,长春,130023;

吉林大学电子工程系,长春,130023;

吉林大学电子工程系,长春,130023;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计算技术、计算机技术;
关键词
MOCVD; 热力学;

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