SEM摄象系统低照度下极限分辨率研究

摘要

本文应用量子噪声起伏理论计算了SEM摄象系统在低照度下的极限分辨率,并据此探讨了提高极限分辨率的可能途径及理论上可达到的探测极限。文中给出了实验比较。