大面积双面外延YBCO超导薄膜研制

摘要

本文通过倒简式直流对靶溅射(ICP)方法,在3英寸范围内LaAlO3和蓝宝石(A12O3)单晶基片上成功实现了两面同时沉积YBCO(YBa2Cu3Oy)高温超导外延薄膜,其Tco=88～91K,Jc=1～5×106A/cm2,Rs(77K,145GHz)=20～40mΩ,双面薄膜的两面一致性和面内均匀性都非常良好,可以满足微波器件研制的要求.