5-硝基苊光致特性的研究

摘要

作者发现,负性光刻胶常用的增感剂5-硝基苊,在受紫外光照射后,物理、化学特性有明显的改变。分析表明,5-硝基苊在曝光中产生了光化反应,其主要反应物是8-甲基-4-硝基-1-萘醛(C12H9NO3,简称MNNA)。利用5-硝基苊受光照后特性的变化,可在SiO2层上实现选择刻蚀,并能较满意地解释无显影刻蚀过程。