高精度线性棱镜扫描器设计

摘要

本文使用直角棱镜和正确选择旋转轴的方法,设计了在激光扫描尺寸自动检测中用的高精度线性扫描器,被它传送的激光光束在保持严格平行的出射方向上进行扫描,如采用折射率约为1.9的玻璃,在43.74mm的测量范围内可使最大线性误差小于±20nm;如果限制测量范围到39mm,则最大线性误差可小于±6nm。