激光扫描尺寸自动检测用的Kθ透镜设计

摘要

本文对激光扫描尺寸自动检测中使用的Kθ透镜的基本概念、工作原理及设计方法做了某些讨论。在特殊的光瞳位置和波长下,对Kθ透镜做优化设计给出结构简单、价廉而又满足使用要求的设计结果。在测量精度为±3μm时,整个测定区域可达47×1000mm~2。