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荆阳; 雒建斌; 杨文言;
清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084;
机电一体化技术; PMN-PZT; 压电陶瓷; 硬盘驱动器; 微致动器; 双级伺服系统;
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机译:静电微致动器,静电微致动器装置和驱动静电微致动器的方法
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