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摘要
Abstract
第1章 绪论
1.1 研究背景和意义
1.2 国内外研究现状
1.3 多晶硅行业市场调查
1.3.1 多晶硅行业发展景气度较高
1.3.2 国际多晶硅企业竞争情况
1.3.3 国内多晶硅企业竞争情况
1.3.4 我国多晶硅行业发展政策
1.4 论文主要研究内容
第2章 多晶硅的相关理论与生产流程
2.1 多晶硅太阳能电池的工作原理
2.2 多晶硅的物理、化学性质
2.3 铸造多晶硅锭的主要参数及检测方法
2.3.1 导电类型
2.3.2 电阻率
2.3.3 少子寿命
2.4 生产流程
2.4.1 工业硅制备过程
2.4.2 破碎和酸洗
2.4.3 电子束熔炼
2.4.4 定向凝固
2.4.5 精整、截断和切片
2.5 本章小结
第3章 定向凝固制备多晶硅成品率提高方法
3.1 铸锭分厂生产现状及工作流程
3.1.1 生产现状
3.1.2 工作流程
3.2 定向凝固原理及方法
3.3 定向凝固设备及工艺流程
3.3.1 定向凝固设备
3.3.2 铸锭设备的工艺流程
3.4 提高多晶硅成品率凝固速率的选择
3.4.1 凝固速率对有效分凝系数的影响
3.4.2 凝固速率对各种金属杂质去除的影响
3.5 优化隔热板下拉速率
3.5.1 隔热板下拉速率对定向凝固的影响
3.5.2 隔热板下拉方法不同方案的比较
3.6 本章小结
第4章 切割制备多晶硅片的过程控制
4.1 硅片切割的原理及工艺流程
4.2 硅锭切割设备
4.3 硅锭切割范围控制
4.3.1 各种金属杂质浓度与硅锭高度之间的关系
4.3.2 多晶硅锭切割范围的控制
4.3.3 切割方案的确定
4.4 本章小结
第5章 总结与展望
参考文献
致谢
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