声明
插图索引
表格索引
符号对照表
缩略语对照表
第一章 绪论
1.1 MEMS概述
1.2 MEMS扭转微镜
1.3 MEMS扭转微镜的应用
1.4 静电扭转MEMS微镜的控制研究
1.5 本文研究内容
1.6 本章小结
第二章 MEMS器件气体阻尼特性分析
2.1 引言
2.2 流体运动方程
2.3 气体阻尼
2.4 数值仿真
2.5 本章小结
第三章 考虑边界效应的MEMS压膜阻尼模型
3.1 引言
3.2 解析模型及格林函数求解
3.3 垂直运动
3.4 谐振运动
3.5 扭转运动
3.6 本章小结
第四章 残余振动的主动抑制方法研究
4.1 引言
4.2 静电致动模型
4.3 静态分析
4.4 动态分析
4.5 多级阶跃输入波形控制
4.6 本章小结
第五章 考虑参数不确定性的改进型非线性比例—微分控制
5.1 引言
5.2 微镜模型
5.3 非线性PD控制系统中的静态误差
5.4 组合控制策略
5.5 仿真验证
5.6 降低颤振
5.7 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 总结
6.2 研究工作展望
参考文献
致谢
作者简介