Al2O3成膜によるマイクロポア壁面の表面電荷状態制御

摘要

マイクロ·ナノスケールの細孔(ポア)を通過する物体をイオン電流計測によって検 出する方法は、単一粒子レベルの検出が可能であり、迅速·超高感度な生体粒子検出 法として注目されている。