レーザ誘導方式小径深穴形状測定システムの開発: 高機能測定システムにおける穴の曲がり検出誤差

摘要

発電用蒸気発生器乾板，工作機械主軸等，小径の深穴が多く加工されている．一方，これらの深穴の形状精度を，包括的に精度よく測定する測定器は，現存しない．穴の測定には，シリンダーゲージ，空気マイクロメータ，真円度測定器等が使用されているが，深さに制限がある．