階層型微細機能構造創製に関する研究（第3報）: 任意階層型一次元微細周期構造の光学機能の解析

摘要

近年の微細加工技術の進歩は著しく，様々な精密機械への微細加工技術の応用が行われている．それに伴い回折格子や反射防止表面構造など，様々な微細構造の持つ機械的及び光学的な機能に関する研究への需要が高まっている．微細構造の種類は多岐にわたるが，その中でも複数の周期を持つ階層型微細機能構造（図1）が注目を集めていて，二重周期による回折格子の回折効率強化や二波長共振器への応用などが期待される．また微細構造の加工法についても，干渉リソグラフィ，電子線リソグラフィ，ナノインプリントなど様々ある．本研究は階層型微細機能構造に着目し，造形手法の確立や光学的機能の解明を目的とする．前報では，（二重周期からなる）二階層の一次元微細周期構造の解析手法について報告した．本報では階層型微細機能構造の中でも任意な階層からなる一次元周期構造に着目し，スカラー理論を用いて回折特性を計算した．また，その回折特性計算理論の回折格子設計への応用について検討した．