純鉄との接触加熱によるダイヤモンド表面への溝加工－除去量増加のための加工プロセスの検討

摘要

ダイヤモンドは熱伝導率，硬度，低熱膨張係数，電気絶縁性など他の物質と比較しても特に優秀な性質を有している．そのため，切削工具だけではなくMEMSなど様々な用途に使用される．そのような要求を達成するためには，ダイヤモンドのパターン形成が重要になってくる．また，製造誤差がMEMS デバイスの性能に大きく関係する．そのため，低コストで高精度なパターン形成方法が必要である．