超微細塑性加工と焼鈍を利用した規則的ナノドットアレイの効率的製造法

摘要

ナノドットアレイはパターンドメディアや量子ドット太陽電池など次世代の高機能デバイスへの応用が期待されておりその効率的製造法の開発が求められている。これらのデバイスの量子ドットとして用いるには、粒径50nm以下のナノドットを規則的に配列させる必要がある。このようなナノドットアレイの作製には通常は電子線リソグラフィー法が用いられている。しかしながら電子線リソグラフィー法はプロセスが煩雑であり、設備コストが高いという問題がある。一方、効率的なナノドット作製法として自己組織化法がある。自己組織化には、焼鈍法やエピタキシャル成長法、ポーラスアルミナテンプレートを用いた方法等がある。いずれの方法も多数の微細なナノドットを一度に作製することが可能であるが、ドット配列や粒径がランダムになってしまうという問題がある．