Interferometry; Surface Topology; Noise Immunity;
机译:白光干涉测量法评价方法精度。 相关性相关方法
机译:粗糙表面上的白光干涉测量法-噪声引起的测量不确定度
机译:基于白色光干涉测量的随机相位噪声校正的鲁棒表面恢复算法
机译:白色光干涉测量:表面高度测量的相关性相关性:噪声稳定性
机译:激光和白光散斑测量方法的研究(统计,相关,条纹,光学滤波,相关)。
机译:使用扫描白光干扰测量法进行表面官能化微机械微电子的步进高度测量
机译:扫描白光干涉法测量表面功能化微加工微悬臂梁的台阶高度