Dept. of Eng., Univ. of Cambridge, Cambridge, UK;
BAW resonator; MEMS; liquid sensing; piezoelectric transducer;
机译:基于硅上压电方扩展模式微机械谐振器的洛伦兹力磁力计
机译:硅上压电微机械谐振器中高Q模式的同时询问
机译:横向振动薄膜压电硅微机械谐振器的半分析建模方法
机译:用于在液体环境中感测的微机械压电型硅凸阳谐振器
机译:用于生物传感应用的液体环境中高质量因子的薄膜体声谐振器。
机译:折叠式光子锥中的熔融微结光学谐振器用于液体中的持久传感
机译:基于平面模式硅上压电谐振器的具有全电接口的液体共振传感新型平台