基于光热辐射测量技术的热波成像技术对非晶硅薄膜太阳能电池缺陷成像

摘要

在非晶硅薄膜器件的实际应用中,除了光致衰减效应问题之外,磨损缺陷也是一个常见的不可避免的问题.因此,发展非晶硅缺陷检测技术是很有必要的.光热辐射测量技术作为一种非常有效的无损检测技术,已经被广泛应用于半导体材料各种特性的检测.本文展示了一种基于光热辐射测量技术的非晶硅薄膜太阳能电池缺陷成像技术.激光诱导的红外辐射被一个多节HgCdZnTe探头探测,探头的前面加了一个长波通滤光片.改变泵浦激光的调制频率,得到了一个有人工损伤缺陷的商业非晶硅薄膜太阳能电池样品的三张热波图像,并对这些图像进行了分析.实验结果表明这种基于光热辐射测量技术的热波成像技术是一种非晶硅缺陷检测的有效手段.