SiO2/36°YX-LiTaO3和ZnO/36°YX-LiTaO3结构的Love波传感器灵敏度研究

摘要

对于SiO2/36°YX-LiTaO3和ZnO/36°YX-LiTaO3两种结构的Love波传感器,其免疫传感实验的结果表明,当波导层厚度不同时,免疫传感的灵敏度不同.同时,存在最佳波导层厚度,使Love波免疫传感器的灵敏度最高.文章从实验上测量了以上两种结构的Love波器件的频率随SiO2和ZnO波导层厚度的变化情况,并利用多层薄膜中声波传播理论对上述结构进行计算,与实验曲线拟合,得到SiO2及ZnO薄膜材料的弹性劲度常数,然后对SiO2/36°YX-LiTaO3、ZnO/36°YX-LiTaO3结构的Love波免疫传感器的灵敏度进行了数值计算.计算结果表明,在一定的膜厚/波长的范围内,质量灵敏度首先随波导层厚度的增加而增加,继而随波导层厚度的增加而减少,即存在一个最佳值使得Love波器件的质量灵敏度最大.