聚焦离子束-扫描电镜技术及其在地球科学中的应用

摘要

20世纪80年代出现的聚焦离子束-扫描电镜双束系统，它集成了离子束刻蚀和扫描电镜成像的优点，可以实现微纳米尺度上的样品定点加工与分析，在近年来受到了广泛关注，已经发展成为材料科学、地球科学、生物及半导体集成电路等领域不可或缺的分析表征手段。除了成像、沉积、刻蚀之外，聚焦离子束-扫描电镜双束系统在地球科学中常常用于超薄片透射电镜样品(＜100nm）、2D和3D维原子探针(针尖)样品的制备和样品微观形貌和成分的三维重构分析等.