人工神经网络对溅射薄膜电阻值的预测

摘要

采用人工神经网络方法研究了靶材成分和工艺参数与溅射薄膜电阻值的关系，并用神经网络预测了单独改变某一成分或工艺参数对溅射薄膜电阻值的影响倾向。