透明导电ITO和ZAO薄膜中的尺度效应

摘要

通过对ＩＴＯ和ＺＡＯ薄膜尺度效应对其电阻率和可见光区透射率的研究，表明了重掺杂半导体薄膜的尺度效应同时考虑经典尺寸效应和表面电场效应。尺度对可见光区透射率的影响是由透明导电薄膜在可见光区本构参数ｋ趋近于０决定的。