掺氮四配位非晶碳薄膜的结构与表面形貌

摘要

采用磁过滤真空溅射离子技术，用氩和氮混合气体共溅射石墨靶制备含氮的四配位非晶碳薄膜，研究了氮分压对薄膜的拉曼光谱和表面形貌的影响。结果表明：随着氮分压的增加，膜中的类石墨畴增加，表面粗糙度也增加。