一种新型TiO<,2>氧化物薄膜的试验研究

摘要

该文根据成膜原理和ＴｉＯ〈，２〉的特性，提出了一种新型的ＴｉＯ〈，２〉薄膜成型技术，并对其涂覆工艺、结合强度进行了试验研究。结果表明，该文所研制的ＴｉＯ〈，２〉薄膜具有工艺简单，性能优良，成本低廉的优点，可广泛应用于机械零件、电气元件表面的耐磨、耐腐、防热绝热、电绝缘等防护处理。