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多模干涉耦合器光开关的设计考虑

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摘要

以多模干涉(MMI)耦合器为核心器件的硅基光开关是一种新颖的光开关结构,具有制作容差大,偏振不敏感,与标准CMOS工艺兼容等优点.为了使器件性能得到优化,必需充分考虑开关的结构设计,改善器件插入损耗,消光比,功耗和可集成性,同时应保证器件的制作成品率.

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来源
《第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议》|2002年|556-559|共4页
会议地点厦门
作者
陈少武; 余金中;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类波导光学与集成光学;
关键词
多模干涉耦合器; 光开关; 消光比;

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