毫米级全方位移动机器人及其微装配系统研究

摘要

微装配系统由微机器人、微移动平台、普通摄像头和显微摄像头组成.微机器人本体尺寸为9mm×9mm×6mm,具有全方位移动特性.机器人使用了4个直径3mrn电磁型微电机,其中1个为转向驱动器,其余为前进动力源.基于LIGA技术制造的微齿轮减速系统将4个电机联系在一起,提高了转向分辨率和转向驱动力矩.由SU-8胶制成的手掌固定于压电机械手臂的前端并安装在机器人的顶部,可夹放工件.通过采用细分方法,微机器人直线移动定位达到每步0.07mm,转向精度每步0.8°.微移动平台的定位精度为每步0.005mm,其位移范围为0～0.3mm.微机器人与微动平台相互结合实现了轴孔装配,轴承孔径为0.6mm,轴径0.35mm.