利用飞行时间质谱研究阴极蒸发

摘要

提出了采用飞行时间质谱(ToFMS)分析阴极蒸发的成分和速率的新方法.利用ToFMS测试了真空本底,氧化物阴极,浸渍阴极、覆膜阴极等各种阴极蒸发物的成分.研究了阴极蒸发速率与阴极温度和加热时间的关系.比较了不同阴极蒸发速率的大小.研究了阴极各种成分离子峰强度与电离电压的关系。