计算机在真空排气中的应用

摘要

计算机以真空器件内的真空度为判据,对真空排气工艺过程进行实时控制,执行排气工艺规程.计算机控制技术细化工艺控制量,优化工艺过程,提高了工艺的一致性、稳定性和产品质量;程控系统设计合理,操作简便,抗干扰能力强。