一种新的圆柱度误差分离方法和技术

摘要

通过对圆柱度测量仪中直行和空间回转复合运动误差对圆柱度测量结果的机理研究,并针对标准圆柱测量的特殊性,提出了一种可实时并完全滤除圆柱度测量仪中直行和空间回转复合运动误差的新的圆柱度误差分离方法.该方法基于同一时刻圆柱度空间复合运动误差在标准器对径处作用方向始终相反而标准器轮廓自身形状不变的特性,通过传感器和误差分离台组合使用、错位叠加,可实时分离出所需的标准器表面轮廓形状信号;该方法从原理上可完全滤除圆柱度仪的系统误差,它的统计特性可降低随机误差的影响.