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离子镀黑色装饰膜

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本文综述近年来离子镀黑色装饰膜的发展状况,包括流行的黑色装饰膜系、应用、主要制备技术、反应离子镀TiC+C膜的工艺参数、沉积黑色膜的主要缺陷形式与成因,最后就TiC+C膜层结构和产生颜色机理作初步探讨和提出需深入研究的课题.

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来源
《广东省真空学会第八届学术交流会》|2006年||共12页
会议地点广州
作者
苏东艺; 梁献文; 袁镇海;
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作者单位

中国真空学会;

广东省真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜的生长、结构和外延;真空镀与气相镀法;
关键词
离子镀; 黑色膜; 装饰薄膜; TiC; 非晶碳膜; 沉积成因;

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