一种微机械硅谐振梁加速度计

摘要

本文介绍了一种MEMS硅谐振梁加速度计的敏感结构设计与加工过程、电路方案和测试结果。敏感结构采用了差动音叉及杠杆增力方案，重点对杠杆结构进行了分析，提出了能够提高增力系数的细颈结构，并优化了杠杆比率。微结构的加工工艺为硅-玻璃键合，体硅深刻蚀工艺。驱动电路采用稳幅自激振荡方案。对整表进行了测试，结果为标度因数为157.5Hz/g，±1g测量范闱内的非线性度为0.083％，加速度噪声达到10.51μg/rtHz。