六自由度奈米测量机之量测系统组装及校正

摘要

本文介绍了一个六自由度奈米级精度测量机台(行程为25mm×25mm)之量测系统的组装及系统的校正。此六自由度奈米测量机分为两部份,第一部分为利用五根压电致动器所组成的四自由度(Z、θx、θy、θz)补偿平台,用以补偿组装及加工误差；第二部份为利用V型导轨架构成之XY双轴滑轨平台,配合音圈马达之推动,使平台能达到XY轴向之定位移动.在本文中,除了报告最测系统的架设步骤及校正结果外,亦提出初步的控制结果。