电液动力微泵的改进

摘要

本文介绍了微型电液动力泵的优化设计和工艺改进.运用MEMS 微加工技术,在硅片上加工不同金属材质的梳妆电极,并优化设计了电极形状.使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为构建微流道的基底材料,PDMS表现出了良好的电绝缘性、较高的热稳定性、优良的光学特性以及简单的加工工艺等优点.实验中采用浇注法制作了PDMS 微流道,并采用阳极键合方式进行微泵的封装.对微泵进行流动实验,在驱动电压为90V时候，200um 高流道的微泵驱动流体的最大流速可以达到92ul/min.