选择生长
选择生长的相关文献在1995年到2022年内共计104篇,主要集中在园艺、林业、畜牧、动物医学、狩猎、蚕、蜂
等领域,其中期刊论文98篇、会议论文1篇、专利文献109174篇;相关期刊68种,包括致富天地、果农之友、河北果树等;
相关会议1种,包括第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议等;选择生长的相关文献由172位作者贡献,包括张红治、梁秀萍、胡礼中等。
选择生长—发文量
专利文献>
论文:109174篇
占比:99.91%
总计:109273篇
选择生长
-研究学者
- 张红治
- 梁秀萍
- 胡礼中
- 刘燕蓉
- 刘贤
- 吕世杰
- 宋天
- 张子敬
- 徐照学
- 施巧婷
- 李红星
- 杨鹏
- 王二耀
- 王建钦
- 王开荣
- 王志俊
- 王美田
- 田全召
- 程智勇
- 茹宝瑞
- 蔡雯雯
- 贺花
- 赵宇
- 陈付英
- 陈宏
- 雷初朝
- 黄永平
- 黄永震
- Max F Rothschild
- 乔明英
- 何慧
- 何香林
- 侯海涛
- 冯志国
- 刘启发
- 刘宝凡
- 刘建武
- 刘清
- 刘芳华
- 刘靖1
- 刘静
- 刚桃萍
- 古力娜
- 吴光辉
- 吾买尔·阿吾提
- 吾尔尼沙·阿木提
- 周敏
- 唐付霞
- 孔锋
- 孙小松
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杨翰飞;
杨治美;
廖熙;
龚敏;
孙小松
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摘要:
采用一种新的LPCVD方法在Si村底上通过SiO2作为掩蔽层,进行3C-SiC的反向外延的选择性生长.TEM,AFM和XRD结果显示3C-SiC沿(111)面成功实现了较高质量的外延选择生长,其界面清晰,掩蔽良好.生长出的3C-SiC薄膜为织构晶体,单晶性良好.残余应力测试表明3C-SiC薄膜晶格发生压应变,选择性生长区域的残余应力显著降低.据此结果建立了残余应力的形成机制.%A new LPCVD method was used to realize selective reverse epitaxial growth of 3C-SiC on Silicon wafer masked by SiO2. The results of TEM, AFM and XRD indicated that well crystallized 3C-SiC (111) films with clear interface and relatively high quality were achieved. The compressive stress was observed in the 3C-SiC films. Compared with 3C-SiC epitaxy on bared Si, the residual stress in the selective epitaxy decreased significantly. Based on the results, the mechanism of the residual stress was formed.