薄膜传感器

摘要： 第四次工业革命已经悄然来临,我国也正面临着从制造大国向制造强国转变的历史性机遇。中国和国际制造业面临产业升级和革新,德国提出“工业4.0”计划,中国提出“中国制造2025”计划,其最核心的方面是智能化制造,不管是物联网还是数字化制造,最前端都将是智能化,所有这些智能化制造都离不开传感技术,面对智能制造产业的需求和技术挑战,本文介绍了面向智能制造的PVD法结构一体化温度压力薄膜传感器,通过对新时代智能制造潮流下传感器的全球需求背景研究,讨论了薄膜传感器的研究价值,分析了薄膜传感器的国内外研究进展与相关薄膜传感器制备工艺的研究,综述了其研究发展现状,着重介绍了结构功能一体化薄膜传感器的关键制备工艺与应用,并对其未来发展做出了展望。

摘要： 针对当前人体压力分布测量系统中存在的系统搭建过于复杂、只能在固定工作场所使用、可视化手段不足等问题,设计了一套基于柔性薄膜压力传感器的便携式人体压力分布测量系统,其主要由阵列柔性薄膜压力传感器、STM32单片机系统结合手机端APP组成。文章介绍了系统的总体结构、工作流程及算法实现,实验测试结果表明:该系统具有结构简化、便携且移动端可视等优点,综合性能优异。

摘要： 针对传统“贴片”箔式传感器粘胶传递形变滞后、敏感栅和基底协同形变不佳以及粘胶易老化蠕变等问题,研制了一种金属基原位生成的薄膜应力传感器。该传感器通过在金属结构钢表面逐步原位沉积NiCrAlY合金过渡层、AlO绝缘层、康铜薄膜电阻栅网以及环氧灌封胶保护层等功能层制备而成。实验结果表明,原位生成的薄膜应力传感器(GF=11.94)相比于“贴片”箔式传感器(GF=7.29)具有更高的灵敏度,敏感栅和基底的协同形变效果更好,传感器的蠕变更小,使用长期稳定性也更好。

摘要： 秒变智能床Beddit睡眠追踪监测器,Beddit睡眠追踪监测器,可以通过放到床垫上的薄膜传感器来监测你的睡眠。传感器能将收集到的数据传到智能手机上,数据可以记录用户睡眠时间、睡眠周期(深浅睡眠时间)、醒来次数和打鼾时间。Beddit睡眠监测仪还能测量用户在夜晚的心率,记录的信息非常准确详尽。Beddit还具有闹钟功能,智能闹钟会在浅睡眠周期时唤醒用户,让用户精力充沛地醒来。

摘要： 提出一种嵌入刀具的合金薄膜传应变感器切削力测量系统的模型,以提高系统的测量灵敏度为目的 ,将弹性元件刀柄作为研究对象,结合薄膜传感器受力变形与刀具强度理论,通过在刀柄合适位置加工凹槽、多层台阶槽与钻孔方式设计了多种刀柄结构.构建了含有矩形、三角形以及半椭圆形凹槽的刀柄截面的惯性矩、强度与刀具测力灵敏度之间的关系,并运用MATLAB软件得到了在刀具强度安全域内,使测力系统灵敏度达到最大的刀柄截面形状的相关参数.对比分析六种含有矩形、半圆形复合凹槽的刀柄结构的横截面积、惯性矩、以及相应测力系统的灵敏度等,结果表明:与优化前的刀柄相比较,化后的刀柄结构可以使得测力系统的测力灵敏度提高倍数在(0.46～4.07)范围,而刀柄截面面积降至(0.09～0.84)范围;其中含有台阶层凹槽结构的刀柄优化结果较好,测力灵敏度提高了1.5倍,刀柄截面面积降至0.64倍.

摘要： 金属结构孔边是飞机结构中最容易出现裂纹的位置,实现金属结构孔边裂纹的定量监测是结构健康监测领域的重要研究内容,因此提出了一种基于电位法的格栅式薄膜传感器.采用阳极氧化工艺在2A12-T4铝合金基体上制备了Al2O3薄膜以防止金属基体对传感器监测信号造成干扰,然后采用直流叠加脉冲偏压电弧离子镀技术在表面制备了格栅式薄膜传感器;通过建立格栅式薄膜传感器的有限元模型,得到传感器的输出特性,分析研究了传感器灵敏度的各影响因素;开展疲劳裂纹监测试验,验证了格栅式薄膜传感器的疲劳裂纹定量监测能力.试验结果表明,格栅式薄膜传感器具有应用于飞机金属结构孔边疲劳裂纹定量监测的可行性.

摘要： 针对酒驾给公共交通带来的隐患,开发了一套便于检测乙醇浓度的乙醇气体检测系统.以硒粉末、硼氢化钠、钼酸钠晶体为原料,采用水热合成法制备了纳米MoSe2,采用滴涂法制备了MoSe2薄膜传感器,测试了MoSe2薄膜传感器在不同浓度下对乙醇的气敏性能.结果表明,MoSe2薄膜传感器具有良好的乙醇气体敏感特性.开展相关硬件电路设计以及程序编写,通过基于MoSe2纳米花结构的乙醇气体传感器检出信号,经模数转换后送MSP430系列微处理器,信号处理后可传送到计算机端实现数据实时显示和存储,同时通过蓝牙模块传输到手机端显示并报警.结合LabVIEW技术设计制作了乙醇气体检测装置,该装置具有操作简便、超低功耗、实用性强等优势.

摘要： 针对酒驾给公共交通带来的隐患,开发了一套便于检测乙醇浓度的乙醇气体检测系统。以硒粉末、硼氢化钠、钼酸钠晶体为原料,采用水热合成法制备了纳米MoSe_(2),采用滴涂法制备了MoSe_(2)薄膜传感器,测试了MoSe_(2)薄膜传感器在不同浓度下对乙醇的气敏性能。结果表明,MoSe_(2)薄膜传感器具有良好的乙醇气体敏感特性。开展相关硬件电路设计以及程序编写,通过基于MoSe_(2)纳米花结构的乙醇气体传感器检出信号,经模数转换后送MSP430系列微处理器,信号处理后可传送到计算机端实现数据实时显示和存储,同时通过蓝牙模块传输到手机端显示并报警。结合LabVIEW技术设计制作了乙醇气体检测装置,该装置具有操作简便、超低功耗、实用性强等优势。

摘要： 压电驻极体(也称为铁电驻极体)是以空间电荷驻极体为基体的一类新型柔性压电功能材料,这种材料不仅具有与压电陶瓷相近的压电活性,同时拥有柔韧性、低介电常数以及低声阻抗等特点。本文制备了基于聚丙烯压电驻极体的柔性薄膜传感器,并对其灵敏度、线性度和热稳定性进行了研究。结果表明：制备的柔性薄膜传感器的灵敏度可达到200 pC/N,并具有良好的线性输出特性; 在70°C下柔性薄膜传感器热老化100h,传感器样品的灵敏度保持在初始值的50％左右;通过热老化处理可以提高柔性薄膜传感器的热稳定性。本研究中制备的柔性压电薄膜传感器可应用在智能交通系统、智能服装,能量采集等领域。

摘要： 环境中重金属的监测越来越受到人们的重视,方便快捷准确灵敏的在线监测手段是研究人员一直所追求的.本文介绍了我们研究的基于硫系玻璃材料合成的新型薄膜传感器,采用脉冲激光等离子体成膜(PLD)技术,在LAPS传感器上制备对重金属离子敏感的离子选择性薄膜,实现微型化重金属检测传感器.文中介绍了在LAPS表面上首次采用PLD技术制备了对Fe敏感的薄膜,选择性能良好.

摘要： 薄膜热电偶由于体积小、响应快、应用范围广等优点，具有广阔的发展前景。本文采用真空镀膜法进行薄膜的制作，选用长和宽均为8mm，厚为0.1mm的二氧化硅以及相同尺寸的石墨和不锈钢作为薄膜传感器的基片，传感器的有效尺寸为4.6×4.6mm。经多次实验得出，单层金属薄膜厚为0.08μm，则热接点厚为0.16μm时，薄膜传感器响应热电势的连续性和稳定性较好，最后在测头表面蒸镀0.01μm厚的SiO2保护层。对自行研制的薄膜传感器进行了静态标定以及动态性能测试的实验研究工作，火柴点燃瞬间至达到最大值所需的时间仅为0.085s，传感器的时间常数约为0.021s。

摘要： 采用射频磁控反应溅射Sn靶和W靶的方法制备了SnO2/WO3复合薄膜材料，并在此基础之上，研制了相应的NO2气体敏感薄膜传感器。通过XRD 实验研究了复合薄膜的物质结构和组份，采用定量测试方法，研究了复合薄膜传感器的制备工艺参数，以及对NO2气体的敏感特性，包括气敏传感器的灵敏度、选择性、响应恢复特性。实验结果说明了SnO2/WO3复合薄膜产生了SnWO4化合物，SnWO4材料具有较低的电阻，表现出对NO2有较好的敏感性；当SnO2/WO3的膜厚比为2.85，烧结温度为500 °C，薄膜工作温度为90 °C的条件下，得到NO2气敏薄膜传感器的性能最佳。

摘要： 本实验以PVC薄膜传感器为基础，通过分别修饰胆酸、二茂铁、三月桂胺、油酸、王冠醚、胆固醇、四苯硼四丁基胺等七种不同脂质，构建PVC修饰薄膜味觉传感器阵列，对酸、甜、鲜味群溶液采用开路电位方法进行检测，并进行聚类分析表征.研究表明，修饰剂和味觉溶液不同可引起界面电位发生不同程度的增减变化，使用聚类分析图可将不同味觉类群溶液根据样本相似程度的大小进行自然直观的良好区分，为人工智能味觉系统的实现提供了一个可行的技术手段.

摘要： 针对偏瘫患者在体能康复训练过程中人体压分布检测问题,本文作者提出了柔性薄膜网格压力传感器的检测机理、传感结构和制作工艺;同时对该传感器样品进行了性能测试和人体压分布测量;并对测试结果进行分析和讨论。实验分析结果表明：本文提出的柔性薄膜网格压力传感器具有优秀的性能指标且能够检测出人体压力;偏瘫患者人体压分布的测量为偏瘫患者的坐姿矫正和体能康复提供了参考依据,也为人体压力分布检测仪器的开发提供了基础。

摘要： 针对偏瘫患者在体能康复训练过程中人体压分布检测问题,本文作者提出了柔性薄膜网格压力传感器的检测机理、传感结构和制作工艺;同时对该传感器样品进行了性能测试和人体压分布测量;并对测试结果进行分析和讨论。实验分析结果表明：本文提出的柔性薄膜网格压力传感器具有优秀的性能指标且能够检测出人体压力;偏瘫患者人体压分布的测量为偏瘫患者的坐姿矫正和体能康复提供了参考依据,也为人体压力分布检测仪器的开发提供了基础。

摘要： 针对偏瘫患者在体能康复训练过程中人体压分布检测问题,本文作者提出了柔性薄膜网格压力传感器的检测机理、传感结构和制作工艺;同时对该传感器样品进行了性能测试和人体压分布测量;并对测试结果进行分析和讨论。实验分析结果表明：本文提出的柔性薄膜网格压力传感器具有优秀的性能指标且能够检测出人体压力;偏瘫患者人体压分布的测量为偏瘫患者的坐姿矫正和体能康复提供了参考依据,也为人体压力分布检测仪器的开发提供了基础。

摘要： 针对偏瘫患者在体能康复训练过程中人体压分布检测问题,本文作者提出了柔性薄膜网格压力传感器的检测机理、传感结构和制作工艺;同时对该传感器样品进行了性能测试和人体压分布测量;并对测试结果进行分析和讨论。实验分析结果表明：本文提出的柔性薄膜网格压力传感器具有优秀的性能指标且能够检测出人体压力;偏瘫患者人体压分布的测量为偏瘫患者的坐姿矫正和体能康复提供了参考依据,也为人体压力分布检测仪器的开发提供了基础。

摘要： 本文介绍了一种新型的薄膜型柔性位移传感器,文章对该传感器的工作原理、传感器组成和技术特点等关键技术进行了阐述,经应用论证,本传感器非常适合狭小空间中的球面间的间隙测量,且性能稳定,可靠性高。

摘要： 本发明提供一种转印薄膜，其用于在膜传感器的至少一个表面形成装饰层，具有临时支撑体及包含黑色颜料或白色颜料的着色组合物层，着色组合物层中的黑色颜料或白色颜料的含量a(质量％)和着色组合物层的膜厚b(μm)满足下述式1，并且提供一种一转印薄膜，其具有临时支撑体及包含黑色颜料或白色颜料的着色组合物层，着色组合物层中的黑色颜料或白色颜料的含量a(质量％)和着色组合物层的膜厚b(μm)满足下述式。80＞a×b＞10……式1。

摘要： 本发明目的在于提供一种不增加内部电阻r、而热电偶数量增加的高输出高S/N的热电堆、高灵敏度辐射温度计，还进一步提供一种有机材料薄膜的制造方法、以及均匀的、廉价的、高灵敏度的多层薄膜热电堆和高灵敏度辐射温度计及其制造方法。将在与基板热分离的薄膜上形成的热电堆设置在温度感应部的温度传感器中，所述薄膜为多层薄膜，在其各层薄膜中，形成层热电堆，所述层热电堆用作为基板热沉以形成诸如热电堆基准温度的一个接点。另外，各层热电堆串联连接形成组合热电堆，该串联连接设计成输出大的结构。将该组合热电堆作为温度传感器使用，制成辐射温度计。

摘要： 能够防止立体成型由具有延伸性的基膜及电极部形成的传感器薄膜时止电极部断裂，从而能够提高立体成型的自由度。在基膜(2)上用添加导电性材料与热可塑性材料的电极材料形成电极部(3)，为确保该电极部(3)的绝缘性而形成由热可塑性树脂构成的绝缘层(7)。对构成基膜(2)与电极(3)以及绝缘层(7)的热可塑性树脂的组合来讲，选择的材料确保用于电极部(3)、绝缘层7的热可塑性树脂的玻璃化转变温度Tg2、Tg3比基膜(2)的玻璃化转变温度Tg1低。

摘要： 本发明提供一种转印薄膜，其用于在膜传感器的至少一个表面形成装饰层，具有临时支撑体及包含黑色颜料或白色颜料的着色组合物层，着色组合物层中的黑色颜料或白色颜料的含量a(质量％)和着色组合物层的膜厚b(μm)满足下述式1，并且提供一种一转印薄膜，其具有临时支撑体及包含黑色颜料或白色颜料的着色组合物层，着色组合物层中的黑色颜料或白色颜料的含量a(质量％)和着色组合物层的膜厚b(μm)满足下述式。180＞a×b＞10……式1。

摘要： 本发明公开一种氧化镓薄膜氢气传感器制备方法及氧化镓薄膜氢气传感器，该方法包括：对FTO玻璃基底的导电面进行清洗和干燥处理，在干燥后的FTO玻璃基底的导电面贴上绝缘胶带，以绝缘胶带覆盖区域作为电极；对FTO玻璃基底进行臭氧清洗；将臭氧清洗后的FTO玻璃基底置于含有镓离子的水热反应溶液中进行水热反应，以在FTO玻璃基底的导电面生长出氧化镓纳米阵列薄膜；对氧化镓纳米阵列薄膜进行退火处理，之后将掩膜版覆盖在所述氧化镓纳米阵列薄膜表面制备顶电极；然后去除绝缘胶带，露出底电极；从而获得附着有氧化镓纳米阵列薄膜层的氢气传感器。

摘要： 本实用新型涉及一种线性薄膜磁阻传感器、线性薄膜磁阻传感器电路及闭环电流传感器与开环电流传感器，其包括种子层；参考层，位于种子层上，具有第一磁矩；非磁性隔离层，位于所述参考层上，将参考层与磁性自由层隔离；磁性自由层，位于非磁性隔离层上，具有第二磁矩，所述第二磁矩具有垂直于膜面的各向异性，且第二磁矩的方向与第一磁矩的方向相互垂直。本实用新型由于磁性自由层的第二磁矩具有垂直于膜面的各向异性，磁性自由层在平行于膜面的方向表现出极低的磁滞，并且较低的饱和场，使得形成磁阻传感器具有较高的灵敏度；磁滞小，精度和线性度高，线性范围可调，工艺简单，响应频率高，成本低，抗干扰性强和温度特性好。

摘要： 发明公开了一种用于薄膜压力传感器的应变薄膜及其制备方法、薄膜压力传感器芯体。该应变薄膜为氮化钽薄膜；该制备方法包括：（1）采用离子束溅射沉积方法轰击氮化钽靶，在薄膜传感器所需弹性基底上沉积氮化钽薄膜预备层；（2）进行退火处理，得到用于薄膜压力传感器的应变薄膜。薄膜压力传感器芯体包括依次设于弹性基底之上的缓冲层、绝缘层和氮化钽薄膜电阻层。本发明的用于薄膜压力传感器的应变薄膜及制备方法所制备的应变薄膜具有高应变因子、低电阻温度系数、良好电导率的优点，薄膜压力传感器芯体具有高灵敏度、在恶劣环境下具有高可靠性的优点。

摘要： 发明公开了一种用于薄膜压力传感器的应变薄膜及其制备方法、薄膜压力传感器芯体。该应变薄膜为氮化钽薄膜；该制备方法包括：（1）采用离子束溅射沉积方法轰击氮化钽靶，在薄膜传感器所需弹性基底上沉积氮化钽薄膜预备层；（2）进行退火处理，得到用于薄膜压力传感器的应变薄膜。薄膜压力传感器芯体包括依次设于弹性基底之上的缓冲层、绝缘层和氮化钽薄膜电阻层。本发明的用于薄膜压力传感器的应变薄膜及制备方法所制备的应变薄膜具有高应变因子、低电阻温度系数、良好电导率的优点，薄膜压力传感器芯体具有高灵敏度、在恶劣环境下具有高可靠性的优点。

摘要： 本公开提供一种薄膜传感器、薄膜传感器阵列及电子装置，属于通信技术领域，其可解决现有的薄膜传感器中的功能区和非功能区的结构的视觉差异较大，影响视觉效果的问题。本公开的薄膜传感器，具有功能区和围绕功能区的非功能区，薄膜传感器包括：介质基板，具有相对设置的第一表面和第二表面；第一导电层，位于介质基板的第一表面；第一导电层包括：设置于功能区的第一导电结构；第二导电层，位于介质基板的第二表面；第一遮光层，位于介质基板的第一表面；第一遮光层包括：至少设置于非功能区的第一遮光结构；第一遮光结构与第一导电结构的图案相同。

摘要： 本发明属于薄膜传感器技术领域，尤其涉及一种用于制备基于金属基底的薄膜传感器的丝网印刷装置，包括底座，所述底座上设有至少一个定位部，所述定位部用于对所述金属基底进行定位；印刷丝网结构，用于在所述金属基底上丝网印刷所述薄膜传感器的层结构，所述丝网印刷结构包括丝网板，所述丝网板上预设有与所述层结构适配的镂空图形，所述镂空图形与所述定位部的位置对应。本发明解决了现有薄膜传感器生产效率低，工艺成本高的技术问题。